多区 ESC 控温解决方案
多区ESC控温系统
分区独立调控+全局协同补偿控温
多输入多输出（MIMO）闭环控制
前馈解耦+PID/MPC+自适应学习
智能算法实时优化控制策略
温度控制均一性高，温度补偿范围大
确保晶圆表面温度分布均匀
ESC系统参数
| 20℃至60℃温升响应时间 | ＜200ms |
| 20℃至60℃温升稳定时间 | ＜10s |
| 校准后 Range | ＜0.8℃（±0.4℃） |
| 校准后 3-Sigma | 0.4-0.6 |
| 微区支持控温区数 | Up to 400 |
校准效果对比
校准前
Range1.574 (2.623%)
3-Sigma1.04 (1.729%)
校准后
Range0.796 (1.327%)
σ—
3-Sigma0.52 (0.860%)
ESC测试/校准腔体
ESC测试/校准腔体是国内首款自主研发的ESC模拟腔体，用于ESC出厂前全流程性能验证与参数校准。可从静电吸附、加热控制、背氦控制、PLASMA性能等多维度模拟机台运行工况。支持晶元吸附检测、ESC漏氦检测、Chiller冷却水流量检测、陶瓷加热功能检测及陶瓷数据全流程校准。
腔体参数
| 适用ESC型号 | 885/887/054/19074等 |
| 晶圆尺寸 | 12寸 |
| 分子泵 | 700L/s |
| 前级泵 | 干泵 |
| 真空度 | ＜10mtorr |
| 气路数量 | 4路 |
| 压力控制 | UPC |
| 工艺控压 | 20torr/30torr/40torr |
| 气体量程 | 0-100sccm |
| ESC控温 | -20-120℃ |
| 腔壁控温 | 室温20-80℃ |
| 工艺腔内衬 | 有 |
| 控制系统 | 全自动控制系统：日志记录、数据记录和异常报警 |
| 静电吸附 | ±10KV |
| 交互界面 | 触摸屏 |