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产品规格书、技术手册
共 6 个产品
四面体CVD工艺控制系统，多参数协同控制
微波共振CVD控制单元，适用于特殊薄膜沉积
增强型CVD节点控制板，支持更多传感器与执行器
基础型CVD节点控制板，负责工艺参数采集与执行
8通道多区加热控制器，支持薄膜沉积多区独立控温
单通道高精度加热控制器，适用于CVD工艺
