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刻蚀设备

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刻蚀设备

共 14 个产品

MUX Board 01

MUX Board 01

基础型多路复用板，适用于标准信号路由

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LTC刻蚀-24H温度控制

LTC刻蚀-24H温度控制

24小时连续运行温控方案，适用于长时间刻蚀工艺

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MUX Board A1

MUX Board A1

高级多路复用板，支持扩展通道配置

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ESC控制背板 A1

ESC控制背板 A1

高级ESC控制背板，支持先进工艺节点需求

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ESC控制背板 8B

ESC控制背板 8B

增强型8通道ESC背板，支持更高电压输出

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MUX Board 8B

MUX Board 8B

增强型8通道多路复用板，低串扰设计

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MUX Board 8A

MUX Board 8A

8通道多路复用板，高速信号切换

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微区控温模块 MT-10

微区控温模块 MT-10

精密控温，适用于边缘补偿与微调区域

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ESC控制背板 01

ESC控制背板 01

基础型ESC控制背板，适用于标准刻蚀工艺

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集成控温模块 IT-300

集成控温模块 IT-300

多区一体化控温方案，集成主区与微区控制

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ESC控制背板 8A

ESC控制背板 8A

8通道ESC静电卡盘控制背板，高集成度设计

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主区加热控制器 MH-200

主区加热控制器 MH-200

增强型多通道控温，支持更高温区均匀性要求

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主区加热控制器 MH-100

主区加热控制器 MH-100

同一控制器硬件平台可根据用户需求配置多种软件方案，适配多样化工艺环境与应用场景。配备RS-485、RS-232、USB、DeviceNet、Profibus及以太网等接口，支持Modbus、SCPI、EtherCAT等标准通讯协议及其他自定协议。

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微区控温模块 MT-20

微区控温模块 MT-20

高分辨率微区控温，支持多通道独立调节

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