核心零部件检测与更换

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核心零部件检测与更换

为薄膜沉积、刻蚀、抛光、量测等半导体制造设备,提供检测、更换、校准等配套解决方案。

全流程一站式服务

对标半导体设备严苛标准,集检测、更换、校准于一体,提供全流程专属解决方案

自研专用测试平台

自主研发专业测试平台,产品出厂前完成全项性能核验,品质层层把关

极速交付保障生产

高效履约、快速交付,全力护航客户产线稳定高效运转

7×24 小时极速响应

全天候专人值守,应急响应迅速,第一时间奔赴现场提供技术支撑

适配设备

Node控制板

CVD设备

天车控制板

天车搬运系统

Tetra Control

CVD设备

MRCC (Modular Recipe Control & Calibration)

CVD设备

LPM (Load Port Module)

EFEM 设备前端模块

LTC刻蚀温度控制板

刻蚀设备