
核心零部件检测与更换
核心零部件检测与更换
为薄膜沉积、刻蚀、抛光、量测等半导体制造设备,提供检测、更换、校准等配套解决方案。
全流程一站式服务
对标半导体设备严苛标准,集检测、更换、校准于一体,提供全流程专属解决方案
自研专用测试平台
自主研发专业测试平台,产品出厂前完成全项性能核验,品质层层把关
极速交付保障生产
高效履约、快速交付,全力护航客户产线稳定高效运转
7×24 小时极速响应
全天候专人值守,应急响应迅速,第一时间奔赴现场提供技术支撑
适配设备
Node控制板
CVD设备
天车控制板
天车搬运系统
Tetra Control
CVD设备
MRCC (Modular Recipe Control & Calibration)
CVD设备
LPM (Load Port Module)
EFEM 设备前端模块
LTC刻蚀温度控制板
刻蚀设备
